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OLED
外观检查机
外观检查机
简介
OLED Glass制作工序时,检测Scribing & Edge Grinder时可能发生的Cell外观的各种Defect缺陷(Scratch,Chipping等)的设备。
使用Glass移送用Picker移送至Vision部,将位于Air Floating的Glass Air Blow后移送至Shuttle Moving Unit,进行与Stage非接触式的Vision检查。
主要组成品
Picker Unit : 将Glass移送至 Inspection Area 并Unloading的装置
Air Floating : 使用Air将Glass提升的装置
Shuttle Moving Unit : 使用Air Floating提升的Glass,仅抓住最起码的部分通过Vision Inspection Zone的装置
Vision Inspection Unit : 检测各种Defect缺陷(Scratch, Chipping等)的装置
设备核心规格n
Scan Speed
500mm/s
Inspection Defect Size
≥50um (Edge as standard)
Illumination type
Exterior Coaxial, Side illumination
Align Type
Vision Align
Dimension
L 9,750 * W 3,450 * H 4,040(㎜)
* 以上规格根据Inspection Cell 尺寸而改变。