Mask 전용 검사기(AOI)에서 획득한 이물 Image를 본 설비에 설치된 Review용 Microscope를 이물위치로 이동 확인 후 확인된 이물과 Image를 비교하여 Operator가 수동으로 Laser을 사용하여 이물을 Burning 또는 Suction기를 통하여 제거하는 장비입니다.
Mask Size | One-quarter 5.5G, (800mm x 900mm x 22T) |
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Frame Flatness | 50㎛ |
Isolator | Passive Type |
Pass Line | 1,700mm |
Mask Handling | By STK Transfer |
Laser Module | Explorer 349nm, Ultra 20 1064nm |
CCD | CB-140 MCL ; JAI. 1/2” progressive Type |
Camera Resolution | 1,392(H) * 1,040(V) |
Cooling | Air Cooling, Water Cooling |
Operating Humidity | 55 ±5 % |
Tact Time | 44sec/Mask |
Dimension | 3,400(W) * 2,400(L) * 2,800(H) |
Weight | 12,000Kg |
* 상기 Specification은 고객 요청에 따라 변경됨.