Introduction

Mask 전용 검사기(AOI)에서 획득한 이물 Image를 본 설비에 설치된 Review용 Microscope를 이물위치로 이동 확인 후 확인된 이물과 Image를 비교하여 Operator가 수동으로 Laser을 사용하여 이물을 Burning 또는 Suction기를 통하여 제거하는 장비입니다.


Features

  • Improved Productivity
  • Minimize Damage of Under Layer
  • Reliability
  • Light On/Off Repair


Machine Key Specification

Mask Size One-quarter 5.5G, (800mm x 900mm x 22T)
Frame Flatness 50㎛
Isolator Passive Type
Pass Line 1,700mm
Mask Handling By STK Transfer
Laser Module Explorer 349nm, Ultra 20 1064nm
CCD CB-140 MCL ; JAI. 1/2” progressive Type
Camera Resolution 1,392(H) * 1,040(V)
Cooling Air Cooling, Water Cooling
Operating Humidity 55 ±5 %
Tact Time 44sec/Mask
Dimension 3,400(W) * 2,400(L) * 2,800(H)
Weight 12,000Kg

* 상기 Specification은 고객 요청에 따라 변경됨.