Introduction

INDEX로부터 공급 받은 Cell을 Air Floating 후 기구적인 Align을 한 뒤, Air Floating 상태에서 Cell 이송 장치를 이용하여 Vision 검사를 하여 DAM 선폭과 외관 Scratch, 이물, 기포, 얼룩, 합작 정도를 검출하는 장비입니다.


주요 구성품

  • Pin Up Unit : INDEX로부터 Stage에 Cell을 안착 시키는 장치
  • Air Floating : 공압을 이용하여 Cell이 부유 하도록 하는 장치
  • Shuttle Unit : Air Floating상태의 Cell을 이송하는 장치
  • Inspection Unit : Vision



Machine Key Specification

Cell Size 1,250 x 2200(mm)
Tact Time 350sec
Panel Type Glass
Air Floating Accuracy ±2um
Inspection Height 2335mm
Pass Line INDEX Loading : 2480mm
Dimension L 3,000 x W 4,400 x H 4,260(mm)

* 상기 Specification은 Inspection Cell Size에 따라 변경됨.