Introduction

• Scribing&Edge Grinder 공정 과정에서 발생할 수 있는 Cell 외관의 각종 Defect결함(Scratch ,Chipping 등)을 검출하는 설비
• 원장 Glass 이송 Picker를 이용 Vision부로 이송,Air Floating에 위치한 Glass를 Air Blow 후 Shuttle Moving Unit으로 이송하며 Stage와 비접촉식으로 Vision 검사를 진행

주요 구성품

• Picker Unit : 원장 Glass를 Inspection Area로 이송 및 Unloading하는 Unit
• Air Floating : 원장 Glass를 Air를 이용하여 부상시키는 역할
• Shuttle Moving Unit : Air Floating을 이용 부상시킨 Glass를 최소한의 부분만 파지하여 Vision Inspection Zone을 통과시키는 Unit
• Vision Inspection Unit : 각종 Defect결함(Scratch ,Chipping 등)을 검출하는 Unit

Machine Key Specification

Scan Speed	500mm/s
검출 Defect Size	≥50um (Edge 기준)
조명	외부 동축, Side조명
Align Type	Vision Align
Dimension	L 9,750 * W 3,450 * H 4,040(㎜)

* 상기 Specification은 Inspection Cell Size에 따라 변경됨.