Introduction

MacMic System은 이전 단계에서 공급된 Glass 를 Micro Scope검사 및 Macro 육안 검사를 진행 할 수 있도록 설계된 장비입니다.

  • MACRO : Macro System은 Index로 부터 공급된 Glass 를 조명장치를 이용하여 Stage 검사 각도별 육안으로 Glass mura 및 Scratch를 검사하는 장비입니다.
  • MICRO : Micro System은 Index로부터 공급된 Glass 를 Microscope를 이용하여 정밀검사를 할 수 있도록 설계된 장비입니다.

이전 공정에서 받은 Defect 정보로 Linear Motor 상단에 설치된 Microscope 위치를 Defect X, Y 좌표로 이동하여 Auto Focusing을 통해 Defect을 검출 합니다. 검출된 Defect은 LCD Monitor에 표시됩니다.



주요 구성품

  • Glass Stage : Glass Load/Unload, Align 기능 수행
  • Laser Point : Glass mura 좌표 인식기능 수행
  • Motion Unit : X, Y, Z, Yawing, Turn, Rotate 등 user 요청에 맞게 구성되며, 검사 각도조절 기능 수행
  • Zoom Scope : 육안 검사 후 정밀하게 검사 기능을 함. ( Option )
  • VCR : ( Option )
  • Illumination Unit : Metal halide Lamp , Handy Lamp( Halogen Lamp, LED Lamp )
    Sodium Lamp, Back Light ( Fluorescent Light, LED Lamp )
    조명 장치로 육안 검사 시 사용함


Machine Key Specification

Inspection Glass Size 4.5G, 5G, 5.5G, 6G, 7G, 8G
Glass Thickness 0.3T ~ 0.7T
Inspection Angle 15˚ ~ 90˚
Glass Alignment Method & Accuracy Stage Align ( ± 200㎛)
Pass Line 1450mm ~ 2350mm
Zoom Scope 배율 x10, x2 ~ x20
System Main Control I/PC : industrial PC


주요 구성품

  • Glass Stage : Glass Load/Unload, Align 기능 수행
  • Microscope : Lens 배율을 변경하며, Defect을 검사함
  • Gantry unit : Microscope를 X, Y 좌표로 이동하는 기능
  • Transmitted Light : 하부조명 기능


Machine Key Specification

Inspection Glass Size 4.5G, 5G, 5.5G, 6G, 7G, 8G
Glass Thickness 0.3T ~ 0.7T
LENS Magnification x2.5, x5, x10, x20, x50, x100(Option)
Glass Alignment Method & Accuracy Stage Align ( ± 200㎛ - H/W )
CD measure 거리측정 기능
Auto Focus Pattern 이미지 비교 방식
Auto Focus Time 1sec
Pass Line 1450mm ~ 1550mm
System Main Control I/PC : industrial PC