Introduction

설비는 NANO LED 제조 공정 중 기판 배선 연결 작업 후 배선의 이상유무를 검사하고 양, 불량을 판정하는 설비입니다. 검사에 셋팅된 기판은 광학계를 이용하여 기판의 배선부에 대해 검사를 하고, 배선 저항을 측정합니다. 검사/측정 완료 후 불량영상(이상값 측정) 저장하고, Data를 추출하여 User가 원하는 정보를 제공합니다.

주요 구성품

• 물류 : L/UTransfer
• Align Unit : Vision Align
• Inspection Optic System : 광학계를 이용한 획득영상(Raw image)
• Probe Unit
• 배선 임피던스 측정 Unit

Machine Key Specification

Dimension	L 1,600 x W 2,000 x H 1,800(mm)

* 상기 Specification은 Inspection Cell Size에 따라 변경됨.